天眼查顯示，大連理工大學(xué)“氮化鎵氣體傳感器及其制備方法、應(yīng)用”專利公布，申請(qǐng)公布日為2024年3月26日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN117761126A。

本發(fā)明公開了一種氮化鎵氣體傳感器及其制備方法、應(yīng)用，制備方法包括：對(duì)襯底進(jìn)行鍍膜形成非晶氮化鎵薄膜，得到含有非晶氮化鎵薄膜的襯底；對(duì)含有非晶氮化鎵薄膜的襯底進(jìn)行熱退火，使非晶氮化鎵薄膜轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑У壉∧ぃ玫胶卸嗑У壉∧さ囊r底；對(duì)含有多晶氮化鎵薄膜的襯底進(jìn)行濕法腐蝕，在非晶氮化鎵薄膜的表面形成多孔結(jié)構(gòu)，得到具有多孔結(jié)構(gòu)的襯底；對(duì)具有多孔結(jié)構(gòu)的襯底涂覆光刻膠后進(jìn)行圖案化光刻，得到具有叉指電極圖形的襯底；目標(biāo)圖形為叉指電極圖形；在具有目標(biāo)圖形的襯底上生長(zhǎng)電極后，去除剩余光刻膠得到氮化鎵氣體傳感器。本發(fā)明的氮化鎵氣體傳感器符合用于檢測(cè)或監(jiān)測(cè)氨氣的高靈敏度、低檢測(cè)限和高敏選擇性需求。