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西湖儀器:實現12英寸碳化硅襯底激光剝離

發表于:2025-03-31 來源:半導體產業網 編輯:

 近日,西湖儀器成功實現12英寸碳化硅襯底激光剝離自動化解決方案,大幅降低損耗,提升加工速度,推進了碳化硅行業的降本增效。此前,西湖儀器已率先推出“8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備”,并于今年1月榮獲“國內首臺(套)裝備”認定。

與傳統的硅材料相比,碳化硅具有更寬的禁帶能隙、更高的熔點、更高的電子遷移率以及更高的熱導率,能夠在高溫、高電壓條件下穩定工作,已成為新能源和半導體產業升級的關鍵材料,推動電動汽車、光伏發電、智能電網、無線通信等領域的技術革命。

但襯底材料成本占據整體成本的比例依然居高不下,嚴重阻礙了碳化硅器件大規模的產業化推廣。降本增效的重要途徑之一是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比,12英寸襯底材料能夠進一步擴大單片晶圓上可用于芯片制造的面積,在同等生產條件下,顯著提升產量,降低單位成本。

2024年12月,國內碳化硅頭部企業已披露了最新一代12英寸碳化硅襯底,在引領國際發展趨勢的同時,也提出了12英寸以上的超大尺寸碳化硅襯底切片需求。與之相應,西湖儀器以最快速度推出了“超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術”,率先解決了12英寸及更大尺寸的碳化硅襯底“切片”難題。

該技術能夠實現對碳化硅晶錠的精準定位、均勻加工、連續剝離,突出優勢在于:

自動化——實現了晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化,各工序可并行作業,產線可靈活調配。

低損耗——激光剝離過程無材料損耗,僅需在后續減薄工序中將上下表面共去除約80-100μm的材料,與傳統切割技術相比原料損耗大幅下降。

高效率——大幅縮短襯底出片時間,加速了超大尺寸碳化硅襯底技術的研發迭代,也可用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規模化量產,促進行業降本增效。

半導體材料行業作為典型的技術密集型行業,一直受困于高端技術和人才的缺乏,加之國外多年的技術封鎖,阻礙了行業的快速發展。西湖儀器的創始團隊來自于西湖大學納米光子學與儀器技術實驗室,該團隊多年來深耕于微納光電子學領域,包括微納加工技術及儀器裝備、微納光子理論及光電器件、面向智能應用的關鍵理論與技術等,為西湖儀器提供了強大的創新支撐和技術儲備。

據Yole預測,到2027年,全球碳化硅功率器件市場規模將達67億美元,年復合增長率33.5%,成為新能源和半導體領域的核心材料。而當下炙手可熱的AR眼鏡,同樣以“碳化硅”為鏡片材料完成性能躍遷,預計2030年全球AR眼鏡市場規模將突破3000億美元,成為碳化硅材料應用的又一個“新藍海”。相信隨著制造工藝的不斷進步和應用領域的不斷拓展,碳化硅器件終將在半導體和光學領域大放異彩。

 

來源:西湖儀器

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