天眼查顯示，華海清科股份有限公司“驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的保濕控制方法、晶圓清洗裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)”專利公布，申請(qǐng)公布日為2024年9月24日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN118692981A。 

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的保濕控制方法、晶圓清洗裝置、存儲(chǔ)介質(zhì)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的保濕控制方法包括：確定輪體的狀態(tài)，輪體的狀態(tài)包括工作狀態(tài)和待機(jī)狀態(tài)；若輪體處于工作狀態(tài)，控制流體以第一保濕模式流入第一流道，以對(duì)輪體進(jìn)行保濕；若輪體處于待機(jī)狀態(tài)，控制流體以第二保濕模式流入第一流道，以對(duì)輪體進(jìn)行保濕，其中，第一保濕模式與第二保濕模式不同。本申請(qǐng)通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)部的第一流道向輪體內(nèi)部的第二流道輸送流體，流體從輪體的外緣流出，對(duì)晶圓與輪體的接觸位置進(jìn)行清洗，避免晶圓邊緣出現(xiàn)磨損或污染；針對(duì)輪體的不同工作狀態(tài)，靈活切換不同的保濕模式，無需單獨(dú)對(duì)輪體進(jìn)行噴淋保濕，節(jié)約流體用量。